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国内首台晶圆自动翻转倒片机成功研发 突破国产化困难

作者: 发布时间:2019-12-21 03:48

12月20日音讯 据北京商报报导,近来,北京京仪主动化配备技能有限公司经过多年探究,成功研制出国内首台晶圆主动翻转倒片机,破解了国产晶圆主动翻转倒片机主动化难题。

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据悉,晶圆倒片机是用来调整集成电路产线上晶圆出产资料序列方位的一款设备,它的使命是将产线上的晶圆经过制程需求进行分批、兼并、翻转后进行下一道程序,这就要求晶圆倒片机具有极高的传送功率和洁净程度。

现在,京仪配备研制的首台晶圆主动翻转倒片机已经在上海集成电路研制中心得到成功使用。前期类型倒片机则已经在中芯世界、长江存储等多家企业得到使用。

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